西工大宁波研究院获批浙江省全省重点实验室

7月25日，浙江省科技厅公布了2023年第二批全省重点实验室认定结果，西北工业大学宁波研究院获批“全省高性能MEMS芯片规模制造技术重点实验室”。

实验室面向智能微系统技术的世界科技发展前沿，通过“需求分析—人才汇聚—技术研发—成果转化”的思路，打造MEMS技术及应用的团队科研新高地。实验室由我国微纳学科奠基者之一国家级人才苑伟政教授担任实验室主任，汇聚了一批国家级人才，以国家重大需求为导向，开展具有探索性、前沿性、创新性的技术研究，持续攻关高性能MEMS芯片制造及应用服务难题，成果显著。

怀抱初芯迎难上，甬立潮头正当时。未来，全省高性能MEMS芯片规模制造技术重点实验室重点发挥团队在MEMS制造领域30余年的技术积累，围绕视觉检测类光学芯片、听觉检测类声学芯片等MEMS高端定制类芯片在规模化制造过程中的卡脖子技术难题，聚焦MEMS芯片制造过程中涉及的特种滤光器件制造工艺等“标准化”MEMS工艺方案，解决MEMS芯片共性关键制造技术难题，颠覆传统MEMS制造工艺非标冗杂的制造模式，突破高性能MEMS芯片制造技术壁垒。

硅基MEMS高端芯片前道工艺加工线

硅基MEMS高端芯片前道工艺加工线百级净化间